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簡要描述：國產電鏡鎢燈絲掃描電子顯微鏡是一款使用鎢燈絲的高性能掃描電子顯微鏡。觀察亞微米級的微觀結構，放大倍數可達300000倍。此型產品具有快速更換燈絲的優點。其分辨率可達3 nm，在自動五軸樣品臺的配合下，非常適用于生產品質控制及樣品篩選，適合傳統光學顯微鏡無法滿足需求的用戶。
產品型號：SEM3200廠商性質：生產廠家更新時間：2026-02-11訪 問 量：62410詳細介紹
國產電鏡鎢燈絲掃描電子顯微鏡SEM3200是一款高性能、應用廣泛的通用型鎢燈絲掃描電子顯微鏡。擁有出色的成像質量、可兼容低真空模式、在不同的視場范圍下均可得到高分辨率圖像。
大景深，成像富有立體感。豐富的擴展性，助您在顯微成像的世界中盡情探索。
產品特點（*為選配件）
鎢燈絲掃描電子顯微鏡特色功能
豐富拓展性
掃描電子顯微鏡不僅局限于表面形貌的觀察，更可以進行樣品表面的微區成分分析。
SEM3200接口豐富，除支持常規的二次電子探測器（ETD）、背散射電子探測器（BSED）、X射線能譜儀（EDS）外，也預留了諸多接口，如電子背散射衍射（EBSD）、陰極射線（CL）等探測器都可以在SEM3200上進行集成。
背散射電子探測器
二次電子成像和背散射電子成像對比
背散射電子成像模式下，荷電效應明顯減弱，并且可以獲得樣品表面更多的成分信息。
應用案例
| 型號 | SEM3200A | SEM3200 | ||
|---|---|---|---|---|
| 電子光學系統 | 電子槍類型 | 預對中型發叉式鎢燈絲電子槍 | ||
| 分辨率 | 高真空 | 3 nm @ 30 kV（SE） | ||
| 4 nm @ 30 kV（BSE） | ||||
| 8 nm @ 3 kV（SE） | ||||
| *低真空 | 3 nm @ 30 kV（SE） | |||
| 放大倍率 | 1-300,000x（底片倍率） | |||
| 1-1000,000x（屏幕倍） | ||||
| 加速電壓 | 0.2 kV～30 kV | |||
| 成像系統 | 探測器 | 二次電子探測器（ETD） | ||
| 背散射電子探測器、低真空二次電子探測器、*能譜儀EDS等 | ||||
| 圖像保存格式 | TIFF、JPG、PNG | |||
| 真空系統 | 真空模式 | 高真空 | 優于5×10-4 Pa | |
| 低真空 | 5～1000 Pa | |||
| 控制方式 | 全自動控制 | |||
| 渦輪分子泵 | ≥ 240 L/S | |||
| 機械泵 | 200 L/min （50 Hz） | |||
| 樣品室 | 攝像頭 | 光學導航 | ||
| 樣品倉內監控 | ||||
| 樣品臺配置 | 三軸自動 | 五軸自動 | ||
| 行程 | X: 120 mm | X: 120 mm | ||
| Y: 115 mm | Y: 115 mm | |||
| Z: 50 mm | Z: 50 mm | |||
| / | R: 360° | |||
| / | T: -10°～ +90° | |||
| 軟件 | 語言 | 中文 | ||
| 操作系統 | Windows | |||
| 導航 | 光學導航、手勢快速導航 | |||
| 自動功能 | 自動亮度對比度、自動聚焦、自動像散 | |||
| 特色功能 | 智能輔助消像散、*大圖拼接（選配軟件） | |||
| 安裝要求 | 房間 | 長 ≥ 3000 mm，寬 ≥ 4000 mm，高 ≥ 2300 mm | ||
| 溫度 | 20 ℃～25 ℃ | |||
| 濕度 | ≤ 50 % | |||
| 電氣參數 | 電源AC 220 V(±10 %)，50 Hz，2 kVA | |||
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